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中科銀河芯自主設(shè)計(jì)開發(fā)的新一代單芯片集成溫濕度一體傳感器芯片。在硅基CMOS晶圓上集成高靈敏度MEMS濕敏元件，把溫度補(bǔ)償和標(biāo)定數(shù)據(jù)都集成在一個(gè)電路里，溫度精度可達(dá)±0.1℃，濕度精度可達(dá)±3%RH，16位分辨率下最快溫度轉(zhuǎn)換速度2.5ms，良好的精度、可靠性、一致性、抗干擾能力滿足新形勢下芯片的發(fā)展趨勢，非常適用于電力、消費(fèi)電子、白色家電、冷鏈運(yùn)輸、工業(yè)控制、可穿戴電子等應(yīng)用場景。